傳統的電容耦合式等離子清洗機結構，即內平行極板。系統由三大部分組成包括真空系統、放電系統和控制系統

　　在容性耦合等離子產生裝置下，電子密度與極板間距成正比例關系，平均電子溫度與極板間距成反比關系，其均勻性與極板間距成正比關系即隨著間距的增大均勻性變好。

　　臥室電容耦合等離子清洗機，可以直接將工件放在下電極上，但是研究發現，等離子體密度最大區域，是在等離子區域2-8cm 之間，因此可以使用一個高度為3cm的支座，支座的放置也便于工件的取放。因為支座要放置在極板上，極板溫度在放電過程中會持續增高，所以在支座材料選擇上面選擇了不易氧化的材料。

　　為了滿足不同工藝的需求，需要向反應腔體內部充入不同的氣體。

　　充氣系統由截止閥、流量控制器、管路以及各氣體儲存罐組成。

　　電容耦合式等離子清洗機反應室本身為不銹鋼管構成，電容極板位于真空室內， 因為金屬本身對于輻射具有很好的屏蔽效果，所以不需要在對裝置設置單獨的屏蔽 裝置，輻射和干擾都非常小，不會對控制系統造成干擾。

　　清洗過程中運行參數包括真空度、射頻輸出功率、清洗時間，等都在觸摸 屏上顯示，同時還需要調節氣體流量和混合比列